“稳态微聚束光源确实能用于光刻,不过我们如今只是实验验证了这一概念,距离具体的应用阶段恐怕还需要大量的实验研究。”
教授办公室内,赵翔听完徐源的话,虽心中非常意动却也不得不摆出事实。
作为自己提出并成功验证的概念,他当然希望能为国家解决眼下困境。
毕竟目前国内半导体行业是个什么情况,只要接触网络都会知道。
确实急需解决高端芯片制造问题。
海外阿麦斯公司,使用的方法是用高能电子束轰击特定成分的气体,从而对晶圆片进行蚀刻,但国内现在的技术还做不出这种东西。但借助稳态微聚束,可以直接把电子束从零速度开始加速。
直到加速到很高很高。
那么所有速率的电子束全都有了,要用哪个速率的就放到特定的位置就行。
原本同步辐射在加速器领域,是个相对来说比较讨厌的事情。
因为会白白消耗加速器的能量,拖累粒子的进一步加速。
但若用于光刻的话,则刚好能利用这个效应来制造特定波长的光。
可以说能称得上脑洞大开。
如果这座光刻工厂真能建成,那么其效率将远不是普通光刻机能比的。
丝毫不夸张的讲,可以同时制造不同规格的芯片。
就好比有人要六十度的水,但精准烧不出来,那就放一条很长的管道。
让一百度的水流过管道逐渐冷却,要多少度的水在相应的位置直接接就行。
不过理念归理念,如何让这些设想变成现实,还需要深入的研究。
以及大量实验。
徐源如何不知道赵翔的忧虑,毕竟现在对稳态微聚束的研究确实不成熟。
若是晚上几年再启动光刻工厂项目,或许能更有底气自信些,不至于像现在这样,显得有些畏手畏脚。
奈何有时候计划赶不上变化。
形势不等人。
眼下国内对5G领域的研究,因高端芯片问题,前进的路基本半废。
既然决定了要自行解决高端芯片制造技术,那速度上就必须尽可能的快。
否则对5G的发展就会落后国际。
哪怕到时候再奋起直追,也会面对各样的问题。
正所谓落后就要挨打,关于这点可以说深有体会。
所以肯定不能把解决当下困境的希望,全部放在国产极紫外光刻机上。
明知道有新的方向道路,不管最终能否成功,也要尽全力尝试。
念头停留在这里,徐源整个人反倒放松很多。
半点没有和赵翔客气。
拉来椅子坐到办公桌对面,自己倒了杯水,然后才看向赵翔继续往下说。
“传统的极紫外光刻机技术,很多专利都已经被阿麦斯公司掌握,我们想要研究出国产极紫外光刻机,确实是非常大的挑战。”
“但谁规定制造高端芯片,就必须要用极紫外光刻机才行。”
“使用稳态微聚束光源建造光刻工厂,更符合我们的半导体市场情况。”
“而一旦这条路走通,那么芯片制造在很大程度上就变成了一个基建项目,这才是我们我们最熟悉且擅长的专属赛道。”
赵翔认真听完徐源说的这些话,内心无比激动之下显得脸色都有些红润。
作为科研人员,这两天他一直在关注网上的事。
刚看到海外对国内5G领域的限制后,下意识便想到了自己的稳态微聚束。
只不过此念头刚在脑海中浮现,很快便又被他主动抛之脑后。
因为在他看来,稳态微聚束还需要更多实验,尚不到具体应用光刻制造芯片的程度。
毕竟国内并没有适合的实验条件。
要知道就连之前验证,也是借用了柏林那边的储存环进行实验。
如今位于燕京的最新代高能辐射同步光源,正在如火如荼的建造中,但在正式交付使用之前,稳态微聚束也没法进一步研究实验。
所以他并没有向科学院,提出建造光刻工厂方案。
结果没想到徐源竟主动提了出来,并且还初步通过了科学院的认可。
眼下海外集体不看好国产极紫外光刻机,都认为这个项目是不可能做到的事。
其中阿麦斯公司首席执行官卡杰迪,更是接受媒体采访时,公开宣称就算公开极紫外光刻机图纸,也制造不出国产极紫外光刻机。
正所谓泥人还有三分火气,更何况是他们这些科研人员。
看到新闻后心里都憋着股气。
想要为国内科研人员正名,让海外看看,在半导体领域同样能实现领先。
单从这个层面来看,建造光刻工厂无疑是最合适。
完全可以想象,当阿麦斯还在为,自己公司的极紫外光刻机骄傲,国内却已经建造出了光刻工厂,甚至能直接影响到他们的订单,到时候整个海外的脸色该会有多精彩可想而知。
也正是由于这些念头,此刻赵翔越发意动。
很快便又忍不住抛出了一个问题。
“你讲的这些我都明白,说时候我比任何人都希望看到光刻工厂的建立。”
“不过稳态微聚束还缺乏实验,并且就算真的要建造光刻工厂,那也要先把稳态微聚束光源解决。”
徐源哪能不知道赵翔的真实想法,将对方这句话悉数听进耳中后,顿时嘴角微微上扬浮现一抹笑容。
下秒也没有卖什么关子,直接开口回答:
“直接对稳态微聚束光源的EUV光刻实验,同样能够研究稳态微聚束的特性。”
“至于光刻工厂需要的同步光源,我的想法是,对现在正建造的高能同步辐射光源装置进行改造,增加其能够进行光刻的功能。”
燕京高能同步辐射光源装置,是科学院之前确定并实施的重大项目。
属于国家的基础科学建设。
当初正是因为赵翔团队,借助柏林储存环成功验证稳态微聚束概念,成功证明稳态微聚束的价值,加上杨老对建造高能同步辐射光源非常支持,所以项目才会进行的这么顺利。
但由于当初并没有往光刻工厂考虑,毕竟此概念还处于实验初期。
因此所建造的高能同步辐射光源装置,主要用于相关的科学实验。