这位高管的语气有些低沉。
“有解决方案了吗？”顾青问道。
“唉，这种事又不可能大力出奇迹，夏科院光电研究院做的准分子激光光源系统只能说还能用，但是对最新研发项目却没有任何帮助。”
“最新研发项目？”
“这事也不是什么秘密，90nm下一步就是45nm了。
制造这个等级芯片的光刻机，已经足够普通电器的芯片制造代工了。”
顾青叹了气：“那几个企业拥有堪称护城河的专利拥有量，我们当初制造晶圆研发的时候也是单打独斗”
“听说顾总是想来谈光源设备的合作项目，”
“自然，经过多年研发，我司在光源设备上也有成果产出，今天就是想看看能否帮一帮友企。”
“那求之不得，我带您去实验室看看。”
这位高管可不是书呆子，九州科技公司如彗星崛起，技术却多样又成熟，稍微动动脑筋都知道对方肯定背景深厚。
浦东微电子的实验室，虽然说是“室”，但面积却不是那么小。
放眼望去，几百平方米的空间里，井然有序的摆放着大大小小的设备，其中有不少研发人员捧着报表和文件夹在其中埋头工作。
浦东微电子总部实验室的负责人赵兴夏身旁簇拥着十几位或年轻或年长的研发人员。
但他们都没有人开口说话，都全神贯注的看着眼前的仪器。
顾青率队在一边停下了脚步。
很明显对方正处于试验关键时刻，这种时候一点噪音都不应该产生。
大约三分钟后。
随着显示器上的数值波动归零，赵兴夏叹了口气。
“光源还是不够，其他方面已经成熟了，唉！
基础科学，基础科学，我们的材料学没人攻克的话，光源什么时候才能有合格的。”
在他身旁有为老者拍了拍赵兴夏的肩膀。
“小赵，别灰心，夏科院那边的同志们也在努力，听说有几位老朋友立下了军令状，争取三年内就有合格光源。”
“DUV还是EUV？”
这句疑问虽然声音不大，但在这安静的实验室内却清晰可闻。
赵兴夏一脸愁容的望了过去。
只见一个陌生的年轻人站着一群人前面，面容青涩，却神态自若。
“哪里来的年轻人？”他问向身旁的助手。
作为实验室负责人，他自然不可能事事巨细。
“老赵，这位是九州科技公司的顾总，还有他们公司半导体研发部门的研发人员。”
这时候引顾青进实验室的那位高管站出来引荐道。
“这位是赵兴夏，赵教授，也是实验室负责人，项目总工程师。”
九州科技的名声，现在也不算小。
赵兴夏回过神来，略微一思索便说道：“贵司不是做晶圆制造的吗？难道有兴趣做芯片代工了？”
随即又说道：“也是，这样做成本更低，销量肯定不成问题。”
顾青笑着摇了摇头，与赵教授握手之后，看了一眼他们刚刚聚精会神观察的设备显示器。
“DUV光源是准分子激光，而AS-ML1的EUV光刻机用激光激发等离子来发射EUV光子是有原因的。
DUV光刻机的波长能达到193纳米，而EUV光源的波长则为13.5纳米。
相信赵教授您也知道，二者之间的差距十分明显，波长越短，所能实现的分辨率越高。这让EUV光刻机能够承担高精度芯片的生产任务。
所以DUV虽然能做48NM，但是难度太大了，必须换EUV才行。”
赵教授没有说话，他身侧的一位年轻研发人却是说道：“EUV光源都被国外公司包圆了，哪里有那么容易给我们用。”
“德国莱卡的镜头、通快的光源、德美日韩的专利技术，是的确被包圆了。
可咱们又不是不可以直接从源头开始换。”罗佳说。
年轻的研发人员冷哼了一声：“说的这么简单，从新研发光源，哪里那么容易。”
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